一、真空包裝技術(shù)

西格瑪光機的真空用支柱底板零部件在超凈環(huán)境下完成裝配，在超凈組裝車間進行裝配，并在超凈包裝車間完成最后包裝。與普通產(chǎn)品不同，這些零部件采用特殊包裝方法，使用鋁袋和真空袋抽真空包裝，確保在高真空環(huán)境下使用時不容易發(fā)生質(zhì)量劣化問題。

注意：此類產(chǎn)品的開封最好在超凈間或真空裝置附近進行，開封后也應(yīng)避免暴露在常規(guī)室內(nèi)環(huán)境下太久時間，以防止質(zhì)量劣化。

二、出氣量評估與測試

為了確保產(chǎn)品質(zhì)量，西格瑪光機使用組裝完成的產(chǎn)品實施了在真空腔內(nèi)的放氣實驗評估。下面的例子是使用電導(dǎo)調(diào)制法（conductance modulation method）測試的真空用鏡架（VMHG-50.8）的出氣情況。

電導(dǎo)調(diào)制法是通過測量真空裝置的電導(dǎo)值變化，評估排氣量或真空度的一種方法。常被用于測量評估出氣量隨時間的變化情況，或進行不同產(chǎn)品的出氣特性的比較實驗。

出氣量隨排氣時間的變化

三、測試裝置與質(zhì)量分析

測試過程中，西格瑪光機使用先進的測試裝置，選用了渦輪分子泵 STP-301（制造商為精工精機，現(xiàn)：Edwards），排氣速度可達(dá) 300 ?/s。同時，還配備了四極質(zhì)譜分析儀 M-201QA-TDM（制造商為 Canon ANELVA Corporation），原子質(zhì)量數(shù)范圍為 1~200，用于分析質(zhì)量成分比。

質(zhì)量成分比

西格瑪光機的真空用支柱底板零部件產(chǎn)品通過嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝、特殊的包裝方法和先進的檢測手段，確認(rèn)設(shè)計生產(chǎn)工藝的合理性和正確性。

注意：產(chǎn)品出貨時并不附帶類似的檢驗報告。如果您需要此類數(shù)據(jù)報告，請和我們聯(lián)系。此類數(shù)據(jù)原則上有償提供。