振動(dòng)對(duì)人類的發(fā)展影響還是非常大的,尤其是在中高端科技應(yīng)用領(lǐng)域,輕微的振動(dòng)都可能導(dǎo)致精密設(shè)備出現(xiàn)故障,那么,振動(dòng)究竟是怎么引起的呢?如何有效的隔振呢?下面,芬創(chuàng)科技為大家簡(jiǎn)單介紹下隔振原理 振動(dòng)源 振源可劃分為三種,地面振動(dòng)(Ground Vibration),音響干擾(Acoustic Noises),和外力直接干擾(Direct Force Disturbance)。極端地說(shuō),小地震也屬于我們所說(shuō)的地面振動(dòng)的范疇。嚴(yán)格地說(shuō),振動(dòng)是無(wú)所不在的。對(duì)振動(dòng)敏感的精密儀器會(huì)受這些微弱自然振動(dòng)的影響,引起使用上的問(wèn)題。而且,到處都存在人為引起的振動(dòng),受其影響的范圍就更廣泛了。 有些領(lǐng)域,即使是非常微弱的振動(dòng)也會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重的影響。比如,會(huì)嚴(yán)重影響光刻機(jī)的投影效果,電子顯微鏡的分辨率,精密測(cè)量?jī)x的精度,或影響光電子儀器的工作性能。 我們這里所說(shuō)的人為引起的振動(dòng),主要是指來(lái)源于車輛運(yùn)動(dòng),或人員走動(dòng),或氣壓系統(tǒng),或電梯等機(jī)械動(dòng)作,也就是主要來(lái)源于人類活動(dòng)而引起的振動(dòng)。 隔振技術(shù)的三大要素 研究隔振,需要考慮以下三大要素: 1. 被隔振的設(shè)備本身 2. 地基(地面)條件 3. 設(shè)備與地基之間的隔振臺(tái) 隔振 影響被動(dòng)式隔振臺(tái)隔振效果的主要因素有2個(gè):隔振臺(tái)的固有頻率和阻尼特性。這里的固有頻率是指其共振頻率fn;阻尼是指隔振臺(tái)本身的振幅遞減特性。 外干擾頻率f與固有頻率的比值(f/fn)可體現(xiàn)隔振效果的好壞。 我們定義隔振系數(shù)為 : Tr = |1 - (f/fn)2 /1|× 100% 隔振系數(shù)曲線如上圖所示。當(dāng) f/fn值小于1.414 時(shí)為增幅狀態(tài),在外干擾頻率等于固有頻率(f/fn=1)時(shí)振幅大,其比值大于1.414后處于減振狀態(tài)。通常處于振幅大的共振狀態(tài)的系統(tǒng)的隔振效果明顯(無(wú)阻尼金屬?gòu)椈上到y(tǒng))。 一般來(lái)說(shuō),金屬?gòu)椈勺枘嵯到y(tǒng)也可在共振頻率處實(shí)現(xiàn)較小的振幅(如圖示),但其隔振系數(shù)沒(méi)有空氣彈簧隔振平臺(tái)的高。 空氣彈簧隔振平臺(tái)既有小的振幅,又有好的隔振系數(shù)。 空氣彈簧隔振系統(tǒng)的固有頻率可用以下公式估計(jì):
由此可見(jiàn),空氣彈簧隔振臺(tái)的固有頻率主要取決于活塞有效面積和氣缸體積的比。 隔振臺(tái)的種類
蜂窩型平臺(tái)的結(jié)構(gòu)
●隔振臺(tái)中的平臺(tái)部分是三明治結(jié)構(gòu),上面板為磁性不銹鋼板(SUS430),中間為鋼質(zhì)蜂窩內(nèi)芯(厚度0.25mm,蜂窩面積3.2cm2),下板面和側(cè)板使用碳鋼材料(SPHC),采用高強(qiáng)度粘接劑整體粘接。 ●平臺(tái)采用寬帶阻尼技術(shù),動(dòng)態(tài)剛性好。 ●蜂窩內(nèi)芯(蜂窩面積3.2cm2)采用0.25mm厚的合金鋼板,和上下板的接觸面積大,結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,剛性好。 ●精密研磨壓力粘接的上面板,表面彎曲小,平面度好。表面噴砂(亞光)處理。 ●平臺(tái)上面板加工了固定光學(xué)器件用的25mm間隔的M6螺孔。 ●蜂窩內(nèi)芯,上下板和側(cè)面板均使用特殊配方的高強(qiáng)度粘接劑,不會(huì)產(chǎn)生彈性彎曲或滯后變形現(xiàn)象。由于所有部件均使用了相同膨脹系數(shù)的結(jié)構(gòu)鋼,即使環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)產(chǎn)生整體扭曲。 ●螺孔下側(cè)被柱形杯密封,可防止化學(xué)物質(zhì)等流入到蜂窩內(nèi)芯。 臺(tái)架
●空氣彈簧隔振器 空氣彈簧式隔振臺(tái)架,在10Hz-60Hz的范圍內(nèi),可很好地隔離垂直和水平方向的振動(dòng),但需另備壓力氣源。 ●阻尼方法 采用節(jié)流孔阻尼方式,能迅速遞減源于外力或載荷重心移動(dòng)造成的振動(dòng)。 ●自動(dòng)水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 內(nèi)置3個(gè)自動(dòng)調(diào)平閥,可自動(dòng)調(diào)節(jié)其氣罐內(nèi)部的壓力。偏載時(shí)能自動(dòng)調(diào)節(jié)高度,保持水平。 ●標(biāo)配移動(dòng)腳輪和水平調(diào)節(jié)固定螺栓,移動(dòng)安裝方便。 ●標(biāo)配4臺(tái)隔振器,承載能力范圍為500kg-2,000kg。如需更大承載能力,或更大尺寸,或連體的光學(xué)平臺(tái),或增加隔振器數(shù)目的話,請(qǐng)咨詢。 |