在真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動控制是許多高端制造和科研領(lǐng)域（如半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、太空探測）的關(guān)鍵需求。傳統(tǒng)電機(jī)在真空中易因摩擦、放氣等問題失效，而西格瑪光機(jī)的真空用超聲波驅(qū)動裝置則提供了一種創(chuàng)新解決方案——它利用超聲波振動實(shí)現(xiàn)“非接觸式驅(qū)動”，既避免了機(jī)械磨損，又適應(yīng)了嚴(yán)苛的真空環(huán)境。

原理：壓電陶瓷的微觀“彈跳”

該裝置的核心是壓電陶瓷材料，當(dāng)通入高頻交流電時，陶瓷會產(chǎn)生微米級的伸縮振動。通過精心設(shè)計(jì)的振動波形，裝置內(nèi)部的彈性體（如金屬振子）會形成定向的行波或駐波，從而推動與之接觸的滑塊或平臺做線性或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。由于驅(qū)動依賴分子間的摩擦力而非齒輪咬合，運(yùn)動過程幾乎無噪音，且分辨率可達(dá)納米級。

真空適配性的秘密

傳統(tǒng)潤滑劑在真空中會揮發(fā)污染環(huán)境，而超聲波驅(qū)動無需潤滑，僅靠材料自身的彈性變形工作；同時，西格瑪光機(jī)采用特殊合金和陶瓷材料，確保部件在真空下的熱穩(wěn)定性和低放氣率。例如，其振子表面常鍍有硬質(zhì)涂層，既減少磨損，又避免真空冷焊現(xiàn)象。

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