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TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái)

2021-11-26 10:42| 發(fā)布者: | 查看: |

TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái),通過在XY軸手動(dòng)平臺(tái)本體上加裝壓電驅(qū)動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào),適用于需要高分辨率定位機(jī)能的手動(dòng)平臺(tái)組件或系統(tǒng)。

TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái)
TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái)
TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái)

TADC-252WSRPA臺(tái)面尺寸25x25mm,無需對(duì)手動(dòng)納米平臺(tái)操作箱進(jìn)行設(shè)定即可進(jìn)行微調(diào),可同時(shí)使用旋鈕和微分頭進(jìn)行微調(diào)和粗調(diào),互不影響。

TADC-252WSRPA參數(shù)指標(biāo):

主要材料     鋁合金

導(dǎo)軌形式     球型導(dǎo)軌

行程/周      0.5mm

粗調(diào)行程     ±3mm

微調(diào)行程     25μm以上

微調(diào)分辨率    20nm以下

移動(dòng)精度/直線度  3μm

平行度      60μm

移動(dòng)平行度    20μm

直交度      10μm

微分頭的安裝位置 側(cè)面

微分頭小讀數(shù)  0.01mm

大承載力矩/俯仰 1.9N·m

大承載力矩/偏擺 1.9N·m

大承載力矩/轉(zhuǎn)動(dòng) 1.9N·m

扭矩剛度/俯仰   4.5″/N·cm

扭矩剛度/轉(zhuǎn)動(dòng)   4.5″/N·cm

自重       0.14㎏

承載能力     39.2N(4.0kgf)

表面處理     黑色氧化

信息

·微調(diào)需要通過納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(PASC)來進(jìn)行。手動(dòng)納米平臺(tái)附有一條用于連接納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱的2m長(zhǎng)電纜。

注意

·安裝平臺(tái)時(shí),一定要注意不要碰撞微分頭的對(duì)側(cè)擋板,以防對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)造成破壞。

·關(guān)掉納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(OASC)電源后,壓電微調(diào)位置會(huì)發(fā)生變化。

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