TADC-252WSRPA西格瑪光機(jī)XY軸納米手動(dòng)滑臺(tái),通過在XY軸手動(dòng)平臺(tái)本體上加裝壓電驅(qū)動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào),適用于需要高分辨率定位機(jī)能的手動(dòng)平臺(tái)組件或系統(tǒng)。
TADC-252WSRPA臺(tái)面尺寸25x25mm,無需對(duì)手動(dòng)納米平臺(tái)操作箱進(jìn)行設(shè)定即可進(jìn)行微調(diào),可同時(shí)使用旋鈕和微分頭進(jìn)行微調(diào)和粗調(diào),互不影響。 TADC-252WSRPA參數(shù)指標(biāo): 主要材料 鋁合金 導(dǎo)軌形式 球型導(dǎo)軌 行程/周 0.5mm 粗調(diào)行程 ±3mm 微調(diào)行程 25μm以上 微調(diào)分辨率 20nm以下 移動(dòng)精度/直線度 3μm 平行度 60μm 移動(dòng)平行度 20μm 直交度 10μm 微分頭的安裝位置 側(cè)面 微分頭小讀數(shù) 0.01mm 大承載力矩/俯仰 1.9N·m 大承載力矩/偏擺 1.9N·m 大承載力矩/轉(zhuǎn)動(dòng) 1.9N·m 扭矩剛度/俯仰 4.5″/N·cm 扭矩剛度/轉(zhuǎn)動(dòng) 4.5″/N·cm 自重 0.14㎏ 承載能力 39.2N(4.0kgf) 表面處理 黑色氧化 信息 ·微調(diào)需要通過納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(PASC)來進(jìn)行。手動(dòng)納米平臺(tái)附有一條用于連接納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱的2m長(zhǎng)電纜。 注意 ·安裝平臺(tái)時(shí),一定要注意不要碰撞微分頭的對(duì)側(cè)擋板,以防對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)造成破壞。 ·關(guān)掉納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(OASC)電源后,壓電微調(diào)位置會(huì)發(fā)生變化。 |