在真空環(huán)境下使用西格瑪光機(jī)不銹鋼滑臺(tái)時(shí)，實(shí)際測(cè)量發(fā)現(xiàn)揮發(fā)性氣體的主要成分為水分和碳?xì)浠衔铩?/span>

我們推測(cè)，這些氣體主要來源于附著在平臺(tái)上的水分以及潤滑油脂的揮發(fā)。

不同型號(hào)的西格瑪光機(jī)真空用手動(dòng)滑臺(tái)在排氣40分鐘后，其放出氣體量如下：

評(píng)價(jià)裝置的技術(shù)指標(biāo)

排氣裝置：

渦輪分子泵STP-301，由EDWARDS公司制造，排氣速度為300 ?/sec；

質(zhì)量分析裝置：

四極質(zhì)譜分析儀QME200，由PFEIFFER社制造，測(cè)量范圍為1 - 200amu

這些設(shè)備用于測(cè)量真空腔內(nèi)的真空度和殘留氣體成分，從而幫助分析和解釋質(zhì)譜峰的氣體成分。

真空腔內(nèi)的真空度

質(zhì)量成分比例

質(zhì)譜峰的解釋

利用質(zhì)譜測(cè)定殘留氣體時(shí)，各分子量處出現(xiàn)的峰值到底是怎樣的氣體，其主要成分的一覽表及其解釋如下：

上海芬創(chuàng)信息科技有限公司2004年成立至今，作為專業(yè)的光機(jī)電產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)提供商，芬創(chuàng)科技長(zhǎng)期致力于將國際上先進(jìn)的真空用手動(dòng)滑臺(tái)及研究方法介紹引進(jìn)到中國；專注為中國的光學(xué)電子/微電子/激光應(yīng)用/生物/醫(yī)藥/物理、光學(xué)研究機(jī)構(gòu)/計(jì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)/機(jī)械加工用戶提供高品質(zhì)的真空用手動(dòng)滑臺(tái)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。