NFS-PX 10nm分辨率閉環(huán)控制平臺是一款使用5相步進電機驅(qū)動的高分辨率閉環(huán)控制平臺，經(jīng)CE和UKCA認證。

NFS-PX 10nm分辨率閉環(huán)控制平臺內(nèi)置光柵尺，具有高重復定位精度和高分辨率，有8臺面尺寸可供選，滿足不同需求。

細節(jié)：

·由于采用滾珠絲杠驅(qū)動，與壓電平臺相比，可移動距離較長，有各種行程和臺面尺寸可供選擇。

·實現(xiàn)了基于AutoConfig功能的平臺分辨率自動識別，極大地提升了可用性。

·提供NFS系列閉環(huán)控制平臺用控制器SHRC-203。

注意：

·請在溫度變化幅度不大的環(huán)境中使用。（推薦：23±1℃）

·請盡量在振動較小的環(huán)境中使用，或采取一定的防振措施。

·請在沒有油霧的環(huán)境中使用，因光柵尺如果被污染的話可能會產(chǎn)生誤差。

·如需安裝大于臺面尺寸的工件，請向我們咨詢。

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上海芬創(chuàng)信息科技有限公司2004年成立至今，作為專業(yè)的光機電產(chǎn)品和技術服務提供商，芬創(chuàng)科技長期致力于將國際上先進的1nm分辨率閉環(huán)控制平臺技術及研究方法介紹引進到中國；專注為中國的光學電子/微電子/激光應用/生物/醫(yī)藥/物理、光學研究機構/計量檢測機構/機械加工用戶提供高品質(zhì)的1nm分辨率閉環(huán)控制平臺和技術服務。