西格瑪光機(jī)NFS系列閉環(huán)控制平臺(tái)是西格瑪光機(jī)針對(duì)高精度定位需求而開發(fā)的納米級(jí)自動(dòng)平臺(tái)。

NFS系列平臺(tái)基于5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用閉環(huán)控制系統(tǒng)，結(jié)合內(nèi)置的高分辨率光柵尺（分辨率可選10nm或50nm），實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位精度。產(chǎn)品通過CE和UKCA認(rèn)證，配合專用控制器SHRC-203，確保在復(fù)雜環(huán)境下的可靠性與重復(fù)性。

1. 核心技術(shù)特點(diǎn)

高精度閉環(huán)控制

通過光柵尺實(shí)時(shí)反饋位置信息，結(jié)合控制器SHRC-203，實(shí)現(xiàn)重復(fù)定位精度±0.5μm，微小范圍雙方向重復(fù)定位精度達(dá)±20nm，滿足超精密定位需求。

滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)與長(zhǎng)行程設(shè)計(jì)

NFS系列采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，支持20mm至300mm的多樣化行程，適用于大范圍移動(dòng)場(chǎng)景。導(dǎo)程精度達(dá)1-2mm，絲杠直徑覆蓋φ4mm至φ10mm，兼顧負(fù)載能力與運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性。

AutoConfig智能識(shí)別功能

自動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)分辨率并優(yōu)化參數(shù)配置，簡(jiǎn)化用戶操作流程，提升設(shè)備兼容性。

多樣化型號(hào)與配置

提供8種臺(tái)面尺寸（75×60mm至330×180mm），支持不同負(fù)載需求（5kgf至20kgf），并可選配LM導(dǎo)軌或十字交叉滾柱導(dǎo)軌，適應(yīng)水平、垂直或倒置安裝。

2. 應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)系統(tǒng)：用于激光加工、光譜分析、干涉測(cè)量中的元件定位與調(diào)整。

半導(dǎo)體制造：支持晶圓檢測(cè)、光刻工藝中的高精度對(duì)位與微動(dòng)控制。

科研實(shí)驗(yàn)：適用于生物醫(yī)學(xué)顯微操作、物理光學(xué)實(shí)驗(yàn)及精密計(jì)量檢測(cè)。

工業(yè)自動(dòng)化：集成于自動(dòng)化設(shè)備中，執(zhí)行精密裝配、打標(biāo)或檢測(cè)任務(wù)。

3. 使用環(huán)境與注意事項(xiàng)

環(huán)境要求：推薦溫度23±1℃，濕度30%-80%（非結(jié)露），需避免振動(dòng)、油霧及灰塵污染。

安裝規(guī)范：安裝面平行度需小于0.02mm，防止外力導(dǎo)致平臺(tái)變形；負(fù)載安裝需匹配臺(tái)面尺寸，超限需定制方案。

維護(hù)建議：定期補(bǔ)充潤(rùn)滑油脂，長(zhǎng)期停用需防銹處理，以延長(zhǎng)設(shè)計(jì)壽命（直線平臺(tái)約2000-3000小時(shí)）。

4. 配套與技術(shù)支持

專用控制器SHRC-203：支持LabVIEW等開發(fā)環(huán)境，提供多軸聯(lián)動(dòng)控制與編程接口。

質(zhì)量保障：采用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、激光干涉儀等檢測(cè)設(shè)備，確保出廠精度符合ISO標(biāo)準(zhǔn)。

定制服務(wù)：支持非標(biāo)行程、特殊負(fù)載及環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計(jì)，滿足個(gè)性化需求。

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上海芬創(chuàng)信息科技有限公司2004年成立至今，作為專業(yè)的光機(jī)電產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)提供商，芬創(chuàng)科技長(zhǎng)期致力于將國(guó)際上先進(jìn)的閉環(huán)控制平臺(tái)及研究方法介紹引進(jìn)到中國(guó)；專注為中國(guó)的光學(xué)電子/微電子/激光應(yīng)用/生物/醫(yī)藥/物理、光學(xué)研究機(jī)構(gòu)/計(jì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)/機(jī)械加工用戶提供高品質(zhì)的閉環(huán)控制平臺(tái)和技術(shù)服務(wù)。