HST(GS)-X內置光柵尺自動平臺系統(tǒng)是由作為位置基準（刻度）的光柵尺，和解讀其刻度獲得位置信息的信號處理部組成的自動平臺系統(tǒng)。

HST(GS)-X內置光柵尺自動平臺系統(tǒng)適用于要求亞微米量級的準確定位，或者存在溫度變化時的長時間驅動等場合。

細節(jié)：

·配合使用好光柵尺的反饋信號和細分驅動功能，可以極大地減少絲杠導程誤差的影響。

·采用了線膨脹系數小的光柵尺，受周圍溫度環(huán)境的影響小，可靠性好，定位精度高。

·光柵尺的理論分辨率為0.05μm。

注意：

·為了保證樣本所示的技術指標，能閉環(huán)控制HST(GS)系列平臺，推薦將細分數設定為大于100(1個脈沖的位移小于0.05μm)的數值。

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