選擇合適的除振裝置是確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。以下是一些選型時(shí)需要考慮的重要因素：

精密設(shè)備的振動特性：

評估精密設(shè)備的結(jié)構(gòu)剛性、尺寸規(guī)格、運(yùn)動機(jī)構(gòu)等，包括最大速度、最大加速度等。

通過MATLAB結(jié)合FEM進(jìn)行解析評價(jià)，依據(jù)獲取得到的精密設(shè)備振動特性及地面振動特性數(shù)據(jù)決定除振裝置方案。

阻尼特性：

根據(jù)振動頻率范圍選擇合適的阻尼類型：

·8Hz以下，選擇除振橡膠類固體阻尼。

·1.5Hz以下，選擇空氣彈簧類空氣阻尼。

·~1.5Hz，選擇主動除振方案。

負(fù)載平臺材質(zhì)選擇：

不同的負(fù)載平臺材質(zhì)具有不同的性能特點(diǎn)：

·阻尼鋼板：為了提升鋼板內(nèi)部的衰減作用，在多塊鋼板中夾入特殊樹脂材料。

·不銹鋼板：具有品類、厚度、形狀易實(shí)現(xiàn)加工，而且具有不易生銹、弱（無）磁等特性，常用于半導(dǎo)體裝置。

·鋁：重量輕，通過高剛性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在大規(guī)格形態(tài)下可實(shí)現(xiàn)輕量化、高剛性化的應(yīng)用。

·大理石：可實(shí)現(xiàn)高平面精度，但不易加工為復(fù)雜的形狀，對環(huán)境溫度、濕度的變化遲鈍，自身剛性和穩(wěn)定性表現(xiàn)優(yōu)異，常被用于超精密設(shè)備的基臺。

·工程塑料：以聚脂釬維系列的材料為基礎(chǔ)，能自由設(shè)計(jì)加工各類形狀，重量輕且衰減能力較好，通常能作為簡易除振臺的負(fù)載臺面。

·航空陶瓷：材料自身具備高剛性特性，固有頻率較高，相對大理石重量較輕，對溫濕度的變化遲鈍，化學(xué)特性穩(wěn)定。

·蜂窩夾層平臺：蜂窩夾層平臺是將六邊形蜂窩形狀的芯材夾在兩塊面板之間，并使用特殊的黏著劑互相粘接而成。上下面板提供了蜂窩夾層板全部的彎曲剛度和平面內(nèi)的拉伸剛度，蜂窩內(nèi)芯提供了蜂窩夾層板的橫向剪切剛度，同時(shí)還起到了穩(wěn)定面板，防止局部屈曲的作用；整體結(jié)構(gòu)類似工字梁的受力原理。從力學(xué)角度分析封閉的六邊形蜂窩結(jié)構(gòu)相比其他結(jié)構(gòu)具有優(yōu)良的比強(qiáng)度和比剛度，輕量化突出（相較同材、同厚實(shí)心板重量輕70%~90%），具有良好的抗疲勞、阻尼衰減、隔聲、吸聲、隔熱等特性。廣泛應(yīng)用于船舶、測量、飛機(jī)、衛(wèi)星、航天器等領(lǐng)域。

常規(guī)的除振裝置類型：

典型應(yīng)用案例參考：